音箱

“光刻机工作时，需要工件台和掩模台在高速运动过程中始终保持几纳米的同步精度。比如浸液式光刻机，工件台的运动速度可达1m/s，两个台子的同步运动误差的平均值需要控制到1纳米，相当于人类头发丝直径的几万分之一，这相当于两架时速1000千米的飞机同步飞行，两架飞机相对位置偏差的平均值要控制到0.3微米以内。这个难度，应该是远高于两架超音速飞机同步飞行的时候，从一架飞机中伸出的缝衣服用的线能够准确穿进另一架飞机上的针孔的难度，如此高的难度使得光刻机的工件台/掩模台系统被誉为超精密机械技术的最高峰”。